项目介绍

DutchBoy S是一个设备端人工智能平台，旨在提高半导体良率并最大限度地减少设备停机时间。它使用基于深度学习的AI模型分析来自蚀刻设备的实时时间序列传感器和测量数据，以自动检测工艺异常并识别缺陷的根本原因。该AI模型基于工艺机理进行训练，可自主分析设备中嵌入的200多个传感器之间的关联。它提供多维诊断洞察，有助于解决复杂的缺陷问题——而这些问题传统上依赖于资深工程师的专业知识。DutchBoy S作为 appliance 型服务器直接部署在工具上，通过直观的现场仪表板实时可视化AI分析结果，从而推动生产车间生产力和良率的提升。